Theorie und Vorteile von 'CEM'-Dampfdosierung

In der Regel wird eine Flüssigkeit bei Raumtemperatur (Precursors für chemische Reaktionen oder Wasser für Befeuchtung), aus einem Vorratsbehälter mit Inertgas-Polster oder einer Membrane abgezogen. Ein Massedurchflussmesser für Flüssigkeiten misst den aktuellen Durchfluss und regelt ihn präzise entsprechend dem Sollwert. Die Regelung des Durchflusses erfolgt durch ein Regelventil, das ein integrierter Bestandteil des patentierten Mischventils für Flüssigkeit und Trägergas ist. Die dort hergestellte Mischung wird anschließend dem Verdampfer zugeführt, in dem eine totale Verdampfung erfolgt. Damit erklärt sich die Abkürzung “CEM”, nämlich Control-Evaporation-Mixing, die 3 Basisfunktionen dieses Systems.
Ein komplettes System beinhaltet auch eine Anzeige-/Regeleinheit, einschl. Netzteil, für den Betrieb der Geräte des CEM-Systems.